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                        使用 spICP-MS/MS 對半導體制程化學品進行多元素納米顆粒分析

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                        實驗結果/結論
                        儀器/耗材清單

                        使用 Agilent 8900 ICP-MS/MS,在多元素 spICP-MS 模式下,對 1% TMAH 中的多元素納米顆粒進行了測定和表征。對于半導體級化學品中的多元素  NP  分析,MS/MS 方法可實現低背景、高靈敏度和干擾控制。使用專門開發的快速多元素納米顆粒分析軟件,在一次樣品采集中獲得  Ag、Al2O3、Fe3O4、Au 和  SiO2  NP  的多元素數據并組合到一個結果表中。該表格提供關于含各種實測元素的納米顆粒的全面信息。結果表明,在溶液中含有大顆粒(如200 nm SiO2 NP)的情況下仍可測量小顆粒(如 30 nm Fe3O4NP)。1% TMAH 溶液中的  Al2O3和  SiO2  NP  的粒徑和顆粒濃度在 10 小時內穩定不變,而 Fe3O4和 Ag NP 的顆粒濃度隨時間逐漸減小。這一結果表明,TMAH 溶液中的 Fe3O4和 Ag NP 應在配制好后盡快測量。1% TMAH 中 Fe3O4 NP 的粒徑穩定不變,而 NP 濃度隨時間的變化還需要進一步的研究。本研究表明,利用  spICP-MS  能夠快速準確地測定含有由不同和/或多種元素組成的納米顆粒的樣品。與針對每種  NP  分別采集數據相比,快速多元素納米顆粒分析軟件簡化了分析方法并將樣品運行時間縮短了  7  分鐘。測量的元素越多,節省的時間也就越多。

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